5100 Series KOFLOC VietNam

1. Giới thiệu thiết bị

KOFLOC 5100 Series là dòng mass flow controller (MFC) cao cấp, sử dụng công nghệ cảm biến nhiệt (thermal mass flow) để đo và điều khiển lưu lượng khí với độ chính xác cao.

Thiết bị được thiết kế với cấu trúc không mối hàn (weldless) và metal seal, giúp giảm rò rỉ gần như tuyệt đối, đảm bảo độ ổn định và độ sạch khí – đặc biệt phù hợp cho các ứng dụng trong bán dẫn và khí tinh khiết.

Ngoài ra, 5100 Series tích hợp van điện từ (normally closed) và hệ thống điều khiển vòng kín, cho phép kiểm soát lưu lượng chính xác và phản hồi nhanh.

2. Thông số kỹ thuật

📌 Lưu ý: Các thông số lưu lượng được hiệu chuẩn theo khí N₂ hoặc tương đương.

3. Ứng dụng

KOFLOC 5100 Series được ứng dụng rộng rãi trong các hệ thống yêu cầu kiểm soát lưu lượng khí chính xác:

• Công nghiệp bán dẫn, sản xuất chip
• Thiết bị phân tích khí
• Hệ thống phối trộn và cấp khí
• Phòng thí nghiệm, R&D
• Công nghiệp hóa chất
• Sản xuất pin nhiên liệu, năng lượng
• Kiểm soát môi trường và khí thải
• Công nghệ sinh học, dược phẩm

4. Kết luận

KOFLOC 5100 Series là dòng mass flow controller hiệu suất cao, nổi bật với:

• Độ chính xác cao (±1% F.S.)
• Thiết kế metal seal chống rò rỉ
• Phản hồi nhanh và ổn định
• Khả năng điều khiển lưu lượng chính xác

Thiết bị là lựa chọn lý tưởng cho các hệ thống yêu cầu kiểm soát lưu lượng khí chính xác, độ sạch cao và độ tin cậy lâu dài, đặc biệt trong ngành bán dẫn và công nghiệp công nghệ cao.

 Liên hệ tư vấn & báo giá

Vui lòng liên hệ để được hỗ trợ lựa chọn cấu hình phù hợp nhất cho hệ thống của bạn.

 Đừng bỏ lỡ:

 Click để tham khảo thêm một số thiết bị khác.
 Theo dõi chúng tôi để cập nhật các mẫu thiết bị